潔凈室或潔凈設施溫、濕度測定，凈化車間施工通常分為兩個檔次：一般測試和綜合測試。第一個檔次適用于處于空態的交竣驗收測試，第二個檔次適用于靜態或動態的綜合性能測試。這類測試適用于對溫度、濕度性能要求比較嚴格的場合。本檢測在氣流均勻性檢測之后和空調系統調整之后進行。進行這項檢測時，空調系統已經充分運轉，各項狀況已經穩定。來賓凈化車間每個濕度控制區至少設置一個濕度傳感器，并且給傳感器充分的穩定時間。所做測量應適合實際使用的目的，待傳感器穩定之后才開始測量，測量時間不少于5分鐘。

優質凈化車間無塵車間裝修標準按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂凈化車間施工無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業內俗稱的1K級別。

防止從相鄰的潔凈度較低區域向無塵室傳達污染的首要辦法是：保持高潔凈度區域有關于低潔凈度區域、凈化車間施工低潔凈度區域有關于效勞區域、效勞區域有關于室外有一個適宜的正壓值。這么就可削減由室外向效勞區域，效勞區域向低等級無塵室，低等級無塵室向高等級來賓優質凈化車間無塵室傳達空氣中的懸浮污染物。正壓值并非越大越好，很多理論研討和實習都證實，人員、物料經過門時，即使門兩邊關門壓差高達50Pa~60Pa，仍難肯定防止隨人員、物料向內移動時的帶著氣流將污染帶入室內。特別是當門兩邊存在溫度差時，門打開后，即使無人走動，在開口斷面有些面積上也存在逆向氣流，帶入空氣的污染物。

來賓優質凈化車間清潔潔凈室內的墻時應使用潔凈室無塵布，使用已獲批準的潔凈室專用去污劑，每天都要檢查車間和整備間的垃圾箱，并及時清走。每塊地板都要吸塵，每次交接班時，凈化車間施工清潔潔凈室的地面應使用專用拖把。在潔凈室里吸塵應使用帶有高效過濾器的專用真空吸塵器。所有的門都需要檢查并擦干吸完地以后再擦地。一周擦一次墻面。架空地板下也要吸塵及擦拭。工作時一定要記住，永遠是由上往下擦，從離門最遠的地方向門的方向擦。潔凈三個月擦一次架空地板底下的柱子和支撐柱。