百色層流手術(shù)室凈化無塵凈化車間的溫濕度主要是依據(jù)您的加工工藝請(qǐng)求來肯定,在滿足加工工藝的條件下,必選應(yīng)該思索人的溫馨感。隨著空氣干凈度請(qǐng)求的進(jìn)步,工藝對(duì)溫濕度的請(qǐng)求也越來越高,必需到達(dá)一定的溫濕度等級(jí)。例如在大范圍集成電路消費(fèi)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱收縮系數(shù)的差請(qǐng)求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就惹起了0.24um線性收縮,所以必需有±0.1度的恒溫,同時(shí)請(qǐng)求濕度值普通較低,由于人出汗以后,對(duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,優(yōu)質(zhì)層流手術(shù)室凈化這種車間不宜超越25度。 濕渡過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超越55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,假如發(fā)作在精細(xì)安裝或電路中,就會(huì)惹起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。
日常維護(hù)內(nèi)容(1)無塵車間的內(nèi)部包括玻璃表面和彩色鋼板表面的清潔和擦洗,以及地板和排水溝的清洗;(2)清潔室內(nèi)設(shè)備,清潔管道,擦洗燈具表面;(3)洗凈淋浴房;(4)百色層流手術(shù)室凈化無塵車間的外部包括玻璃表面,彩鋼板表面,地板的清潔,消毒柜,消毒洗手盆的清潔,傳送帶出入口的清潔;2.每月維護(hù)內(nèi)容(一)優(yōu)質(zhì)層流手術(shù)室凈化潔凈室天花板的清潔衛(wèi)生;如果在天花板和墻壁表面發(fā)現(xiàn)裂紋,腐蝕和涂層情況,則必須進(jìn)行密封膠填充和去污;(2)回風(fēng)管道的清潔衛(wèi)生工作包括對(duì)玻璃表面,彩色鋼板表面和地板的清潔。(3)清潔空調(diào)器每年清洗擦洗一次;(4)檢查旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)零件,軸承以及風(fēng)扇和阻尼器等軸承箱的潤(rùn)滑,并定期添加潤(rùn)滑脂以確保旋轉(zhuǎn)靈活。
無塵室空調(diào)送風(fēng)體系的結(jié)尾設(shè)備--高效空氣過濾器或超高效空氣過濾器,在正常狀況下能有用過濾經(jīng)空調(diào)機(jī)組處理的新風(fēng)和回風(fēng)中的顆粒污染物。優(yōu)質(zhì)層流手術(shù)室凈化經(jīng)高效、超高效空氣過濾器處理后的潔凈空氣送入室內(nèi),可有用地排替、沖淡室內(nèi)污染物,百色優(yōu)質(zhì)層流手術(shù)室凈化以保持室內(nèi)的潔凈度。但末級(jí)過濾器如有破損或過濾器與支持結(jié)構(gòu)間的密封呈現(xiàn)裂隙,氣密性失效,那么未經(jīng)高效空氣過濾器過濾的空氣就也許帶著很多污染粒子進(jìn)入室內(nèi)并隨氣流分散,損害影響規(guī)模較大。因而無塵室投入運(yùn)用前的末級(jí)過濾器檢漏、堵漏或替換作業(yè)十分首要。作業(yè)進(jìn)程中防備末級(jí)過濾器受損,也十分首要。
優(yōu)質(zhì)層流手術(shù)室凈化潔凈室內(nèi)的氣流是左右潔凈室性能的重要因素,一般潔凈室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間,優(yōu)質(zhì)層流手術(shù)室凈化設(shè)計(jì)此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域,易受人、機(jī)器等的動(dòng)作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風(fēng)速的提高,將影響運(yùn)轉(zhuǎn)成本的增加,所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時(shí),能以適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng),以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果。