北海無(wú)塵車(chē)間凈化設(shè)備潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例,正規(guī)無(wú)塵車(chē)間凈化設(shè)備無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非 常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的 負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無(wú)塵是必然的要求。
潔凈室或潔凈設(shè)施溫、濕度測(cè)定,無(wú)塵車(chē)間凈化設(shè)備施工通常分為兩個(gè)檔次:一般測(cè)試和綜合測(cè)試。第一個(gè)檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗(yàn)收測(cè)試,第二個(gè)檔次適用于靜態(tài)或動(dòng)態(tài)的綜合性能測(cè)試。這類(lèi)測(cè)試適用于對(duì)溫度、濕度性能要求比較嚴(yán)格的場(chǎng)合。本檢測(cè)在氣流均勻性檢測(cè)之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進(jìn)行。進(jìn)行這項(xiàng)檢測(cè)時(shí),空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運(yùn)轉(zhuǎn),各項(xiàng)狀況已經(jīng)穩(wěn)定。北海無(wú)塵車(chē)間凈化設(shè)備每個(gè)濕度控制區(qū)至少設(shè)置一個(gè)濕度傳感器,并且給傳感器充分的穩(wěn)定時(shí)間。所做測(cè)量應(yīng)適合實(shí)際使用的目的,待傳感器穩(wěn)定之后才開(kāi)始測(cè)量,測(cè)量時(shí)間不少于5分鐘。
北海無(wú)塵車(chē)間凈化設(shè)備無(wú)塵車(chē)間的圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修材料宜選用氣密性良好,同時(shí)在溫度、濕度等變化時(shí),本身變形小的材料;墻壁和頂棚表面應(yīng)光潔平整、不起灰、不落塵、耐腐蝕、耐沖擊、易清洗。為了使無(wú)塵車(chē)間的建筑表面盡量少積灰、易清掃,應(yīng)在建筑構(gòu)造上避免或減少凹凸面,墻面與地面、墻面與頂棚、墻面與墻面的相接處也不宜做成一般的直角,宜做成半徑大于或等于50mm的圓角。正規(guī)無(wú)塵車(chē)間凈化設(shè)備壁面涂層的色彩要和諧、雅致、素淡,以便于顯現(xiàn)壁面上的污染物。同樣,地面也應(yīng)做到平整、無(wú)縫隙、耐磨、耐腐蝕、耐沖擊、不積聚靜電、易除塵清洗。
無(wú)塵室內(nèi)的技術(shù)設(shè)備應(yīng)選料精巧,光亮耐磨,那些滾動(dòng)、滑動(dòng)部位分外首要,要盡也許地削減磨損及產(chǎn)塵。正規(guī)無(wú)塵車(chē)間凈化設(shè)備關(guān)于那些產(chǎn)塵的技術(shù)進(jìn)程要盡也許地將其封閉或設(shè)置圍擋,并輔以排風(fēng),形成有些規(guī)模有關(guān)于無(wú)塵室的負(fù)壓,以約束污染物向無(wú)塵室別的區(qū)域分散。對(duì)北海正規(guī)無(wú)塵車(chē)間凈化設(shè)備室內(nèi)的機(jī)器設(shè)備定時(shí)地進(jìn)行清洗、擦洗是必要的準(zhǔn)則,也是削減積塵二次飛揚(yáng)的有用辦法。