武鳴無菌室凈化無塵凈化車間的溫濕度主要是依據您的加工工藝請求來肯定,在滿足加工工藝的條件下,必選應該思索人的溫馨感。隨著空氣干凈度請求的進步,工藝對溫濕度的請求也越來越高,必需到達一定的溫濕度等級。例如在大范圍集成電路消費的光刻曝光工藝中,作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱收縮系數的差請求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就惹起了0.24um線性收縮,所以必需有±0.1度的恒溫,同時請求濕度值普通較低,由于人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,專業無菌室凈化這種車間不宜超越25度。 濕渡過高產生的問題更多。相對濕度超越55%時,冷卻水管壁上會結露,假如發作在精細安裝或電路中,就會惹起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。
按照武鳴無菌室凈化潔凈室設計或工藝要求決定維持被測潔凈室的正壓或負壓值。1)不同級別的潔凈室或潔凈區與非潔凈室(區)之間的靜壓差,應不小于5Pa。2)無菌室凈化設計潔凈室(區)與室外的靜壓差,不應小于 10Pa。3)對于空氣潔凈度等級嚴于 5 級(100 級)的單向流潔凈室在開門時,門內 0.6m 處的室內工作面含塵濃度應不大于相應級別的含塵濃度限值。4)若達不到以上標準的要求,應重新調整新風量、排風量、至合格為止。
專業無菌室凈化無塵車間裝修標準按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無菌室凈化設計無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業內俗稱的1K級別。
咱們有必要在規劃和選用資料時就選用不易發作靜電,或發作靜電能敏捷泄漏的資料。專業無菌室凈化在以往的規劃中咱們為了使靜電電荷有敏捷逃逸的通路,通常只重視對地板的效果,即選用防靜電地板來消除靜電。并且只把體系電阻值約束在105—108歐姆之間來作為衡量防靜電的規范,如今看來是遠遠不夠的。如今歐美、日本等國家在規劃潔凈室時現已不局限于防靜電地板了,對武鳴無菌室凈化潔凈室間隔、墻面及潔凈的構造體系等都思考在內。如今在規劃時咱們也會充沛思考到防靜電的請求,如選用噴涂靜電涂料、防靜電蠟等來作為輔佐辦法或彌補辦法來戰勝靜電。使潔凈室不發作或少發作靜電。
手術室凈化是一項比較復雜的系統工程,但是在專業無菌室凈化手術室凈化在使用之后,手術室內的空氣能夠達到潔凈無污染的狀態,我們要怎樣進行保養呢。1、武鳴專業無菌室凈化手術室凈化工程的高效過濾器更換完畢后需確認邊框無滲漏現象,并用塵埃粒子計數器進行檢測,達到技術指標后方可進行正常工作。2、定期對電氣線路進行檢修,如有故障可參照電氣原理圖進行維修。3、要定期使用儀器測定設備的各項技術指標,如不符合技術參數要求應及時予以處理。4、根據實際使用情況,定期將手術室凈化工程的初效空氣過濾器中的濾料取下清洗。