廣州凈化車(chē)間潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱(chēng)之為潔凈室。按照國(guó)際慣例,優(yōu)質(zhì)凈化車(chē)間無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非 常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的 負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無(wú)塵是必然的要求。
人員凈化用室和生活用室,應(yīng)符合下列要求:①人員優(yōu)質(zhì)凈化車(chē)間凈化用室的入口處,應(yīng)設(shè)凈鞋器。②存外衣室和潔凈工作服室應(yīng)分別設(shè)置。③外衣存衣柜和潔凈工作服柜應(yīng)按編制人數(shù)每人設(shè)一柜。④盥洗室應(yīng)設(shè)洗手和烘干設(shè)備。⑤水龍頭應(yīng)按最大班人數(shù)每10人設(shè)置一個(gè)。⑥廣州凈化車(chē)間潔凈區(qū)不得設(shè)廁所。⑦人員凈化用室內(nèi)的廁所應(yīng)設(shè)前室。⑧空氣吸淋室應(yīng)設(shè)在潔凈區(qū)人員入口處,并應(yīng)與潔凈工作服室相鄰。⑨單人空氣吹淋室按最大班人數(shù)每30人設(shè)一臺(tái)。⑩當(dāng)僅為100級(jí)垂直層流潔凈室時(shí),可改設(shè)氣閘室。⑩潔凈區(qū)工作人員超過(guò)5人時(shí),空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)旁通門(mén)。
以集成電路為代表的工業(yè)環(huán)境控制中多采用工業(yè)潔凈技術(shù)和工業(yè)潔凈室;而在醫(yī)學(xué)中,多采用生物優(yōu)質(zhì)凈化車(chē)間潔凈室進(jìn)行微生物污染控制。在生物潔凈室里,這些微生物多由細(xì)菌和真菌組成,粒徑尺寸在0.2um以上,常見(jiàn)的細(xì)菌粒徑都在0.5um以上,并且多數(shù)依附在其他物質(zhì)微粒上。生物污染渠道不僅通過(guò)空氣,還與人體、與操作人員的服裝有關(guān)。廣州優(yōu)質(zhì)凈化車(chē)間在醫(yī)學(xué)研究領(lǐng)域中,生物實(shí)驗(yàn)室、無(wú)菌實(shí)驗(yàn)室以及供生物化學(xué)、醫(yī)學(xué)實(shí)驗(yàn)用的“特殊飼養(yǎng)動(dòng)物”飼養(yǎng)室也都十分需要控制微生物污染。
電子廠凈化車(chē)間(潔凈室)是優(yōu)質(zhì)凈化車(chē)間工程潔凈度等級(jí)在10萬(wàn)級(jí)尺度以上的潔凈工程車(chē)間,首要按捺空氣浮塵微粒對(duì)工作上對(duì)象的空氣污染,內(nèi)部必需保持正壓狀態(tài)。廣州凈化車(chē)間電子廠凈化車(chē)間合用于電子、微電子、半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造等,主要運(yùn)用在精密儀器、手機(jī)背光源、芯片出產(chǎn)、集成電路、磁盤(pán)制造車(chē)間、顯示屏等行業(yè)。
A、廣州凈化車(chē)間室內(nèi)測(cè)試人員必須穿潔凈服,不得超過(guò)2人,應(yīng)位于測(cè)試點(diǎn)下風(fēng)側(cè)并遠(yuǎn)離測(cè)試點(diǎn),并應(yīng)保持靜止。進(jìn)行換點(diǎn)操作時(shí)動(dòng)作要輕,應(yīng)減少人員對(duì)室內(nèi)潔凈度的干擾。B、設(shè)備要在校準(zhǔn)期內(nèi)使用。C、優(yōu)質(zhì)凈化車(chē)間檢測(cè)前和檢測(cè)后設(shè)備“清零”D、在單向流區(qū)域,所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動(dòng)力采樣,進(jìn)入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過(guò)20%。若無(wú)法做到這一點(diǎn),將采樣口正對(duì)氣流的主方向。非單向流的采樣點(diǎn),采樣口應(yīng)豎直向上。E、采樣口至粒子計(jì)數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短。采樣點(diǎn)一般離地面0.8-1.2m左右,要均勻科學(xué)布點(diǎn),而且要避開(kāi)回風(fēng)口。對(duì)任何小潔凈室或局部空氣凈化區(qū)域,采樣點(diǎn)的數(shù)目都不得少于2個(gè),總采樣數(shù)可根據(jù)面積開(kāi)2次根求得。