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凈化室工程
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桂林正規(guī)無塵車間凈化設(shè)備設(shè)計

2021-04-13
桂林正規(guī)無塵車間凈化設(shè)備設(shè)計

桂林無塵車間凈化設(shè)備潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,正規(guī)無塵車間凈化設(shè)備無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非 常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學構(gòu)造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的 負面影響,所以在光學構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。

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桂林無塵車間凈化設(shè)備無塵凈化車間的溫濕度主要是依據(jù)您的加工工藝請求來肯定,在滿足加工工藝的條件下,必選應(yīng)該思索人的溫馨感。隨著空氣干凈度請求的進步,工藝對溫濕度的請求也越來越高,必需到達一定的溫濕度等級。例如在大范圍集成電路消費的光刻曝光工藝中,作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱收縮系數(shù)的差請求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就惹起了0.24um線性收縮,所以必需有±0.1度的恒溫,同時請求濕度值普通較低,由于人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,正規(guī)無塵車間凈化設(shè)備這種車間不宜超越25度。 濕渡過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超越55%時,冷卻水管壁上會結(jié)露,假如發(fā)作在精細安裝或電路中,就會惹起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。

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桂林無塵車間凈化設(shè)備無塵車間的圍護結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修材料宜選用氣密性良好,同時在溫度、濕度等變化時,本身變形小的材料;墻壁和頂棚表面應(yīng)光潔平整、不起灰、不落塵、耐腐蝕、耐沖擊、易清洗。為了使無塵車間的建筑表面盡量少積灰、易清掃,應(yīng)在建筑構(gòu)造上避免或減少凹凸面,墻面與地面、墻面與頂棚、墻面與墻面的相接處也不宜做成一般的直角,宜做成半徑大于或等于50mm的圓角。正規(guī)無塵車間凈化設(shè)備壁面涂層的色彩要和諧、雅致、素淡,以便于顯現(xiàn)壁面上的污染物。同樣,地面也應(yīng)做到平整、無縫隙、耐磨、耐腐蝕、耐沖擊、不積聚靜電、易除塵清洗。

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1、吊頂需是專為正規(guī)無塵車間凈化設(shè)備無塵車間工程設(shè)計的系統(tǒng),以便于安裝簡易快速、堅固、美觀。有干、濕兩類。干吊頂用于高效過濾風機系統(tǒng),濕系統(tǒng)用于回風空調(diào)箱帶高效過濾風口系統(tǒng)。2、濕吊頂須用密封膠密封。3、桂林無塵車間凈化設(shè)備無塵車間工程中的車間墻為鋁合金板材,拆裝靈活。4、提升地板根據(jù)潔凈等級對換氣次數(shù)的要求不同,帶孔板的覆蓋率不同。安裝提升地板時,應(yīng)先確定立柱的定位,用專用膠將柱固定在環(huán)氧地面上,并在膠干后測試其牢固程度。5、所有提升地板內(nèi)管線不可在安裝立柱前施工。

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防止從相鄰的潔凈度較低區(qū)域向無塵室傳達污染的首要辦法是:保持高潔凈度區(qū)域有關(guān)于低潔凈度區(qū)域、無塵車間凈化設(shè)備設(shè)計低潔凈度區(qū)域有關(guān)于效勞區(qū)域、效勞區(qū)域有關(guān)于室外有一個適宜的正壓值。這么就可削減由室外向效勞區(qū)域,效勞區(qū)域向低等級無塵室,低等級無塵室向高等級桂林正規(guī)無塵車間凈化設(shè)備無塵室傳達空氣中的懸浮污染物。正壓值并非越大越好,很多理論研討和實習都證實,人員、物料經(jīng)過門時,即使門兩邊關(guān)門壓差高達50Pa~60Pa,仍難肯定防止隨人員、物料向內(nèi)移動時的帶著氣流將污染帶入室內(nèi)。特別是當門兩邊存在溫度差時,門打開后,即使無人走動,在開口斷面有些面積上也存在逆向氣流,帶入空氣的污染物。

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