電子廠凈化車間(潔凈室)是優(yōu)質(zhì)凈化車間工程潔凈度等級(jí)在10萬級(jí)尺度以上的潔凈工程車間,首要按捺空氣浮塵微粒對(duì)工作上對(duì)象的空氣污染,內(nèi)部必需保持正壓狀態(tài)。來賓凈化車間電子廠凈化車間合用于電子、微電子、半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造等,主要運(yùn)用在精密儀器、手機(jī)背光源、芯片出產(chǎn)、集成電路、磁盤制造車間、顯示屏等行業(yè)。
優(yōu)質(zhì)凈化車間凈化工程車間中怎樣有效的防止靜電產(chǎn)生?首先,從靜電產(chǎn)生的機(jī)理來看,應(yīng)該從降低有關(guān)物體的絕緣度著手,使兩物體即使摩擦也不產(chǎn)生和少產(chǎn)生靜電,對(duì)此有以下一些主要措施:1.保持環(huán)境有一定的濕度。2.來賓凈化車間鋪設(shè)防靜電地板或地毯。目前已有這種具有一定導(dǎo)電性能的塑料地板或地毯產(chǎn)品,能十分有效抑制由于人的行走產(chǎn)生靜電。3.使用離子風(fēng)槍、離子頭、離子棒等設(shè)施,使在一定范圍內(nèi)防止靜電產(chǎn)生。4.半導(dǎo)體器件應(yīng)盛放在防靜電塑料盛放器或防靜電塑料袋中,這種防靜電盛放器有良好導(dǎo)電性能,能有效防止靜電的產(chǎn)生。當(dāng)然,有條件的應(yīng)盛放在金屬盛放器內(nèi)或用金屬箔包裝。5.對(duì)于操作人員應(yīng)在手腕上帶防靜電手帶,這種手帶應(yīng)有良好的接地性能,這種措施極為有效。
潔凈車間參數(shù)要求:(1)防止外部塵埃侵入潔凈車間:潔凈車間里面的正壓值需>0.5mmAq;(2) 優(yōu)質(zhì)凈化車間凈化間運(yùn)轉(zhuǎn)環(huán)境狀況:溫、濕度及微塵粒子數(shù)應(yīng)每日定時(shí)量測,以確實(shí)掌握質(zhì)量果數(shù)據(jù)異常需做緊急處理;(3)潮濕和干燥都會(huì)給生產(chǎn)帶來影響,相對(duì)濕度超過75%時(shí),銹蝕率趨向直線上升,機(jī)器設(shè)備和產(chǎn)品易于銹蝕,給生產(chǎn)與物資儲(chǔ)存造成損失,相對(duì)濕度低于45%,靜電荷容易積聚,帶來危害。在PCB生產(chǎn)過程中,濕度的控制精度對(duì)曝光對(duì)位影響較大,所以濕度的控制精度是非常重要的基礎(chǔ)問題。光導(dǎo)纖維生產(chǎn)用來賓凈化車間潔凈室:各潔凈室空氣潔凈度等級(jí)要求:潔凈室微粒控制粒徑0.3Um 光纖預(yù)制棒制造區(qū) ISO 7級(jí),部分要求ISO 5級(jí) 光纖拉絲區(qū) ISO 6級(jí) 各潔凈室,濕度要去:光纖預(yù)制棒制造區(qū) 24℃±2℃ 光纖拉絲區(qū) 20℃±1℃ 日照潔凈技術(shù),日照無塵車間,日照潔凈室,日照空氣凈化.
1.無隔板過濾器和新式空氣分配設(shè)備可構(gòu)成即節(jié)能又靈敏的凈化車間工程無塵車間體系。2.在不影響噪聲限度的前提下,進(jìn)步風(fēng)機(jī)壓頭有利于延伸過濾器的運(yùn)用壽命,此外風(fēng)機(jī)應(yīng)可以變速工作。3.對(duì)各種優(yōu)質(zhì)凈化車間凈化單元結(jié)構(gòu)(安置和尺度)應(yīng)加以改進(jìn),使之向有利于減小體積,進(jìn)步分配均勻性而又不添加阻力的方向開展。4.改進(jìn)排風(fēng)柜的結(jié)構(gòu),既便于隨時(shí)調(diào)理風(fēng)量,又要便利操作。5.技術(shù)設(shè)備的規(guī)劃和排熱辦法應(yīng)親近結(jié)合,排熱以開展水冷為主。
來賓凈化車間潔凈度等級(jí)請(qǐng)求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按規(guī)劃或標(biāo)準(zhǔn)受控,另外該類潔凈室對(duì)靜電請(qǐng)求極端嚴(yán)厲。其間對(duì)濕度的請(qǐng)求尤甚。由于過于枯燥的廠房內(nèi)很容易產(chǎn)生靜電,形成CMOS集成損壞。一般來說,優(yōu)質(zhì)凈化車間電子廠房的溫度應(yīng)操控在22℃左右,相對(duì)濕度操控在50-60%之間(特別無塵車間有有關(guān)溫濕度規(guī)則)。 這時(shí)可有效地消除靜電,并使人也感受舒服。芯片出產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制作車間是歸于電子制作職業(yè)潔凈室的重要組成有些,由于電子產(chǎn)品在制作、出產(chǎn)進(jìn)程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和質(zhì)量的請(qǐng)求極為嚴(yán)厲,首要以操控微粒和浮塵為首要目標(biāo),同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)厲的規(guī)則。
防止從相鄰的潔凈度較低區(qū)域向無塵室傳達(dá)污染的首要辦法是:保持高潔凈度區(qū)域有關(guān)于低潔凈度區(qū)域、凈化車間工程低潔凈度區(qū)域有關(guān)于效勞區(qū)域、效勞區(qū)域有關(guān)于室外有一個(gè)適宜的正壓值。這么就可削減由室外向效勞區(qū)域,效勞區(qū)域向低等級(jí)無塵室,低等級(jí)無塵室向高等級(jí)來賓優(yōu)質(zhì)凈化車間無塵室傳達(dá)空氣中的懸浮污染物。正壓值并非越大越好,很多理論研討和實(shí)習(xí)都證實(shí),人員、物料經(jīng)過門時(shí),即使門兩邊關(guān)門壓差高達(dá)50Pa~60Pa,仍難肯定防止隨人員、物料向內(nèi)移動(dòng)時(shí)的帶著氣流將污染帶入室內(nèi)。特別是當(dāng)門兩邊存在溫度差時(shí),門打開后,即使無人走動(dòng),在開口斷面有些面積上也存在逆向氣流,帶入空氣的污染物。