柳州凈化車間潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,優(yōu)質(zhì)凈化車間無塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非 常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的 負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。
車間凈化空調(diào)要點(diǎn)1、空調(diào)的設(shè)計(jì)、安裝和運(yùn)行要滿足不同的目的,所以需要進(jìn)行系統(tǒng)的嚴(yán)格測試、控制和驗(yàn)證。2、柳州凈化車間工程車間中空氣的流向必須是從關(guān)鍵區(qū)(更清潔的區(qū)域)到環(huán)繞區(qū)域(低級(jí)別的區(qū)域),空氣的進(jìn)風(fēng)和排風(fēng)必須平衡,空氣的換氣次數(shù)、氣流模型、壓差也要有所保證,這樣才能確保車間空氣的柳州凈化車間潔凈度和空氣流向。3、安裝前需要對(duì)房間和凈化空調(diào)系統(tǒng)全面清掃、擦洗,達(dá)到清潔要求后,需要開啟凈化空調(diào)系統(tǒng)試運(yùn)行少12小時(shí),才可安裝高效過濾器。醫(yī)藥行業(yè)對(duì)于空氣凈化系統(tǒng)的要求相當(dāng)嚴(yán)格,包括進(jìn)風(fēng)、空氣處理、送風(fēng)、排風(fēng)等環(huán)節(jié),因此,空氣凈化系統(tǒng)必須周期性檢測其質(zhì)量特性。
按照柳州凈化車間潔凈室設(shè)計(jì)或工藝要求決定維持被測潔凈室的正壓或負(fù)壓值。1)不同級(jí)別的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差,應(yīng)不小于5Pa。2)凈化車間工程潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差,不應(yīng)小于 10Pa。3)對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)嚴(yán)于 5 級(jí)(100 級(jí))的單向流潔凈室在開門時(shí),門內(nèi) 0.6m 處的室內(nèi)工作面含塵濃度應(yīng)不大于相應(yīng)級(jí)別的含塵濃度限值。4)若達(dá)不到以上標(biāo)準(zhǔn)的要求,應(yīng)重新調(diào)整新風(fēng)量、排風(fēng)量、至合格為止。
柳州凈化車間無塵凈化車間的溫濕度主要是依據(jù)您的加工工藝請(qǐng)求來肯定,在滿足加工工藝的條件下,必選應(yīng)該思索人的溫馨感。隨著空氣干凈度請(qǐng)求的進(jìn)步,工藝對(duì)溫濕度的請(qǐng)求也越來越高,必需到達(dá)一定的溫濕度等級(jí)。例如在大范圍集成電路消費(fèi)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱收縮系數(shù)的差請(qǐng)求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就惹起了0.24um線性收縮,所以必需有±0.1度的恒溫,同時(shí)請(qǐng)求濕度值普通較低,由于人出汗以后,對(duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,優(yōu)質(zhì)凈化車間這種車間不宜超越25度?!穸蛇^高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超越55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,假如發(fā)作在精細(xì)安裝或電路中,就會(huì)惹起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。
1.外廊盤繞式:優(yōu)質(zhì)凈化車間外廊能夠有窗或無窗,以兼作觀賞和放置一些設(shè)備用,而通常選用10萬級(jí)和外窗有必要是雙層密封窗。2.柳州凈化車間內(nèi)廊盤繞式:無塵室設(shè)在外圍,而走廊設(shè)在內(nèi)部,這種走廊的潔凈度等級(jí)通常需較高,乃至和無塵室同樣的等級(jí),此外無塵室設(shè)在外圍時(shí),需注意并無外窗設(shè)置。3.兩頭式:無塵室設(shè)在一邊,另一邊設(shè)準(zhǔn)無塵和輔佐用居室。4.基地式:為了節(jié)省用地、縮短管線,能夠?qū)o塵區(qū)設(shè)在基地,上下左右被各種輔佐房和蔭蔽管道的空間包圍起來,削減與外氣的熱交換。
柳州凈化車間無塵車間的圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修材料宜選用氣密性良好,同時(shí)在溫度、濕度等變化時(shí),本身變形小的材料;墻壁和頂棚表面應(yīng)光潔平整、不起灰、不落塵、耐腐蝕、耐沖擊、易清洗。為了使無塵車間的建筑表面盡量少積灰、易清掃,應(yīng)在建筑構(gòu)造上避免或減少凹凸面,墻面與地面、墻面與頂棚、墻面與墻面的相接處也不宜做成一般的直角,宜做成半徑大于或等于50mm的圓角。優(yōu)質(zhì)凈化車間壁面涂層的色彩要和諧、雅致、素淡,以便于顯現(xiàn)壁面上的污染物。同樣,地面也應(yīng)做到平整、無縫隙、耐磨、耐腐蝕、耐沖擊、不積聚靜電、易除塵清洗。