專(zhuān)業(yè)實(shí)驗(yàn)室凈化潔凈室內(nèi)的氣流是左右潔凈室性能的重要因素，一般潔凈室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間，專(zhuān)業(yè)實(shí)驗(yàn)室凈化工程此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域，易受人、機(jī)器等的動(dòng)作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風(fēng)速的提高，將影響運(yùn)轉(zhuǎn)成本的增加，所以應(yīng)在滿(mǎn)足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時(shí)，能以適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)，以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果。

專(zhuān)業(yè)實(shí)驗(yàn)室凈化無(wú)塵車(chē)間裝修標(biāo)準(zhǔn)按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂實(shí)驗(yàn)室凈化工程無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無(wú)塵是必然的要求。每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí),這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以?xún)?nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱(chēng)的1K級(jí)別。

1.外廊盤(pán)繞式：專(zhuān)業(yè)實(shí)驗(yàn)室凈化外廊能夠有窗或無(wú)窗，以兼作觀賞和放置一些設(shè)備用，而通常選用10萬(wàn)級(jí)和外窗有必要是雙層密封窗。2.玉林實(shí)驗(yàn)室凈化內(nèi)廊盤(pán)繞式：無(wú)塵室設(shè)在外圍，而走廊設(shè)在內(nèi)部，這種走廊的潔凈度等級(jí)通常需較高，乃至和無(wú)塵室同樣的等級(jí)，此外無(wú)塵室設(shè)在外圍時(shí)，需注意并無(wú)外窗設(shè)置。3.兩頭式：無(wú)塵室設(shè)在一邊，另一邊設(shè)準(zhǔn)無(wú)塵和輔佐用居室。4.基地式：為了節(jié)省用地、縮短管線，能夠?qū)o(wú)塵區(qū)設(shè)在基地，上下左右被各種輔佐房和蔭蔽管道的空間包圍起來(lái)，削減與外氣的熱交換。

玉林實(shí)驗(yàn)室凈化工程潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣，以排替、稀釋室內(nèi)產(chǎn)生的顆粒污染物來(lái)實(shí)現(xiàn)的。為此，測(cè)定潔凈室或潔凈設(shè)施的送風(fēng)量、平均風(fēng)速、送風(fēng)均勻性、氣流流向及流型等項(xiàng)目十分必要。專(zhuān)業(yè)實(shí)驗(yàn)室凈化單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的潔凈度。因此，其送風(fēng)斷面風(fēng)速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù)。較高的、較均勻的斷面風(fēng)速能更快、更有效地排除室內(nèi)工藝過(guò)程產(chǎn)生的污染物，因此它們是主要關(guān)注的檢測(cè)項(xiàng)目。非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來(lái)沖淡與稀釋室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染物以維持其潔凈度。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù)，記錄各測(cè)點(diǎn)風(fēng)速的時(shí)間平均值。換氣次數(shù)：根據(jù)潔凈室總風(fēng)量除以法凈室的容積求得。

桌面：將木塑薄板粘貼在層壓板上制成桌面，或使用不銹鋼作為桌面；盒子：熱軋薄鋼板和框架氣焊容易變形。專(zhuān)業(yè)實(shí)驗(yàn)室凈化冷軋板折疊可用于重疊焊接。大電流電焊。吸音材料應(yīng)粘貼在內(nèi)表面上。箱密封：所有間隙均用密封劑密封；操作區(qū)域的橫截面應(yīng)與空氣過(guò)濾器供氣的橫截面相同，并且盲區(qū)應(yīng)最小化；風(fēng)扇和電動(dòng)機(jī)：使用小型高壓低噪聲風(fēng)扇。風(fēng)扇與機(jī)箱之間的連接是軟連接。玉林實(shí)驗(yàn)室凈化電動(dòng)機(jī)和風(fēng)扇均應(yīng)采取減振措施；燈罩：應(yīng)在燈罩中盡可能安裝熒光燈，并在燈罩中通入干凈的氣流；預(yù)過(guò)濾器：必須設(shè)置預(yù)過(guò)濾器，容量要大，在使用的風(fēng)量下初始阻力應(yīng)小于50Pa；