桂林無(wú)菌室凈化無(wú)塵凈化車(chē)間的溫濕度主要是依據(jù)您的加工工藝請(qǐng)求來(lái)肯定,在滿足加工工藝的條件下,必選應(yīng)該思索人的溫馨感。隨著空氣干凈度請(qǐng)求的進(jìn)步,工藝對(duì)溫濕度的請(qǐng)求也越來(lái)越高,必需到達(dá)一定的溫濕度等級(jí)。例如在大范圍集成電路消費(fèi)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱收縮系數(shù)的差請(qǐng)求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就惹起了0.24um線性收縮,所以必需有±0.1度的恒溫,同時(shí)請(qǐng)求濕度值普通較低,由于人出汗以后,對(duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間,專業(yè)無(wú)菌室凈化這種車(chē)間不宜超越25度。 濕渡過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超越55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,假如發(fā)作在精細(xì)安裝或電路中,就會(huì)惹起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。
桂林無(wú)菌室凈化無(wú)塵車(chē)間一般包括無(wú)塵區(qū)、準(zhǔn)無(wú)塵區(qū)和輔佐區(qū)三部分。無(wú)塵車(chē)間的平面安置能夠有以下幾種方法:外廊盤(pán)繞式:外廊能夠有窗和無(wú)窗,兼作觀賞和放置一些設(shè)備用,有的在外廊內(nèi)設(shè)直勤采暖。外窗有必要是雙層密封窗。內(nèi)廊式:專業(yè)無(wú)菌室凈化無(wú)塵車(chē)間設(shè)在外圍,而走廊設(shè)在內(nèi)部,這種走廊的無(wú)塵度等級(jí)一般都較高,乃至和無(wú)塵車(chē)間同級(jí)。兩頭式:無(wú)塵區(qū)設(shè)在一邊,另一邊設(shè)準(zhǔn)無(wú)塵和輔佐用房。中心式:為了節(jié)省用地、縮短管線,能夠無(wú)塵區(qū)為中心,上下左右被各種輔佐用房和蔭蔽管道的空間包圍起來(lái),這種方法避開(kāi)室外氣候?qū)o(wú)塵區(qū)的影響,削減了冷熱能耗,利于節(jié)能。
桂林無(wú)菌室凈化無(wú)塵車(chē)間的圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修材料宜選用氣密性良好,同時(shí)在溫度、濕度等變化時(shí),本身變形小的材料;墻壁和頂棚表面應(yīng)光潔平整、不起灰、不落塵、耐腐蝕、耐沖擊、易清洗。為了使無(wú)塵車(chē)間的建筑表面盡量少積灰、易清掃,應(yīng)在建筑構(gòu)造上避免或減少凹凸面,墻面與地面、墻面與頂棚、墻面與墻面的相接處也不宜做成一般的直角,宜做成半徑大于或等于50mm的圓角。專業(yè)無(wú)菌室凈化壁面涂層的色彩要和諧、雅致、素淡,以便于顯現(xiàn)壁面上的污染物。同樣,地面也應(yīng)做到平整、無(wú)縫隙、耐磨、耐腐蝕、耐沖擊、不積聚靜電、易除塵清洗。
在潔凈室的規(guī)劃中,專業(yè)無(wú)菌室凈化通常選用間隔方法將空間分紅若干個(gè)小潔凈區(qū),通常這些房間設(shè)置是密閉狀況,這么做是為了操控外界的污染。1.桂林無(wú)菌室凈化工業(yè)凈化工程出產(chǎn)中由于高溫的設(shè)備會(huì)不斷排出熱氣,熱氣體排風(fēng)體系可對(duì)其進(jìn)行熱收回處理。當(dāng)有便或是排氣量小時(shí)選用隔熱辦法。2.有些商品在出產(chǎn)過(guò)程中會(huì)排出酸或堿性氣體,選用酸、堿氣體排風(fēng)體系設(shè)置濕式洗氣吸收塔進(jìn)行處理。3.通常排風(fēng)體系將出產(chǎn)過(guò)程中排出的通常廢氣直接排入大氣。4.出產(chǎn)過(guò)程中有時(shí)會(huì)用到各類(lèi)有機(jī)物,這時(shí)會(huì)發(fā)生有機(jī)物質(zhì)的氣體,選用有機(jī)氣體排風(fēng)體系對(duì)其進(jìn)行處理。5.潔凈室內(nèi),不一樣商品在出產(chǎn)過(guò)程中會(huì)排出不一樣濃度粉塵物質(zhì),選用含粉塵的排風(fēng)體系對(duì)排出的氣體進(jìn)行過(guò)濾處理。6.工業(yè)凈化工程對(duì)特別成份的商品進(jìn)行出產(chǎn)時(shí),會(huì)發(fā)生特別氣體,如毒性、腐蝕性等,選用特別氣體排氣體系對(duì)排出氣體進(jìn)行處理,合格后排入潔凈室大氣中。