A、欽州層流手術室凈化室內測試人員必須穿潔凈服,不得超過2人,應位于測試點下風側并遠離測試點,并應保持靜止。進行換點操作時動作要輕,應減少人員對室內潔凈度的干擾。B、設備要在校準期內使用。C、正規層流手術室凈化檢測前和檢測后設備“清零”D、在單向流區域,所選擇的采樣探頭應接近等動力采樣,進入采樣探頭的風速與被采空氣的風速偏差不應超過20%。若無法做到這一點,將采樣口正對氣流的主方向。非單向流的采樣點,采樣口應豎直向上。E、采樣口至粒子計數器傳感器的連接管應盡量短。采樣點一般離地面0.8-1.2m左右,要均勻科學布點,而且要避開回風口。對任何小潔凈室或局部空氣凈化區域,采樣點的數目都不得少于2個,總采樣數可根據面積開2次根求得。
日常維護內容(1)無塵車間的內部包括玻璃表面和彩色鋼板表面的清潔和擦洗,以及地板和排水溝的清洗;(2)清潔室內設備,清潔管道,擦洗燈具表面;(3)洗凈淋浴房;(4)欽州層流手術室凈化無塵車間的外部包括玻璃表面,彩鋼板表面,地板的清潔,消毒柜,消毒洗手盆的清潔,傳送帶出入口的清潔;2.每月維護內容(一)正規層流手術室凈化潔凈室天花板的清潔衛生;如果在天花板和墻壁表面發現裂紋,腐蝕和涂層情況,則必須進行密封膠填充和去污;(2)回風管道的清潔衛生工作包括對玻璃表面,彩色鋼板表面和地板的清潔。(3)清潔空調器每年清洗擦洗一次;(4)檢查旋轉,旋轉零件,軸承以及風扇和阻尼器等軸承箱的潤滑,并定期添加潤滑脂以確保旋轉靈活。
欽州層流手術室凈化無塵車間的圍護結構和室內裝修材料宜選用氣密性良好,同時在溫度、濕度等變化時,本身變形小的材料;墻壁和頂棚表面應光潔平整、不起灰、不落塵、耐腐蝕、耐沖擊、易清洗。為了使無塵車間的建筑表面盡量少積灰、易清掃,應在建筑構造上避免或減少凹凸面,墻面與地面、墻面與頂棚、墻面與墻面的相接處也不宜做成一般的直角,宜做成半徑大于或等于50mm的圓角。正規層流手術室凈化壁面涂層的色彩要和諧、雅致、素淡,以便于顯現壁面上的污染物。同樣,地面也應做到平整、無縫隙、耐磨、耐腐蝕、耐沖擊、不積聚靜電、易除塵清洗。
人員凈化用室和生活用室,應符合下列要求:①人員正規層流手術室凈化凈化用室的入口處,應設凈鞋器。②存外衣室和潔凈工作服室應分別設置。③外衣存衣柜和潔凈工作服柜應按編制人數每人設一柜。④盥洗室應設洗手和烘干設備。⑤水龍頭應按最大班人數每10人設置一個。⑥欽州層流手術室凈化潔凈區不得設廁所。⑦人員凈化用室內的廁所應設前室。⑧空氣吸淋室應設在潔凈區人員入口處,并應與潔凈工作服室相鄰。⑨單人空氣吹淋室按最大班人數每30人設一臺。⑩當僅為100級垂直層流潔凈室時,可改設氣閘室。⑩潔凈區工作人員超過5人時,空氣吹淋室一側應設旁通門。
欽州層流手術室凈化無塵凈化車間的溫濕度主要是依據您的加工工藝請求來肯定,在滿足加工工藝的條件下,必選應該思索人的溫馨感。隨著空氣干凈度請求的進步,工藝對溫濕度的請求也越來越高,必需到達一定的溫濕度等級。例如在大范圍集成電路消費的光刻曝光工藝中,作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱收縮系數的差請求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就惹起了0.24um線性收縮,所以必需有±0.1度的恒溫,同時請求濕度值普通較低,由于人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,正規層流手術室凈化這種車間不宜超越25度。 濕渡過高產生的問題更多。相對濕度超越55%時,冷卻水管壁上會結露,假如發作在精細安裝或電路中,就會惹起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。