崇左實驗室凈化無塵凈化車間的溫濕度主要是依據(jù)您的加工工藝請求來肯定,在滿足加工工藝的條件下,必選應該思索人的溫馨感。隨著空氣干凈度請求的進步,工藝對溫濕度的請求也越來越高,必需到達一定的溫濕度等級。例如在大范圍集成電路消費的光刻曝光工藝中,作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱收縮系數(shù)的差請求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就惹起了0.24um線性收縮,所以必需有±0.1度的恒溫,同時請求濕度值普通較低,由于人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,正規(guī)實驗室凈化這種車間不宜超越25度。 濕渡過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超越55%時,冷卻水管壁上會結露,假如發(fā)作在精細安裝或電路中,就會惹起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。
潔凈室或潔凈設施溫、濕度測定,實驗室凈化工程通常分為兩個檔次:一般測試和綜合測試。第一個檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗收測試,第二個檔次適用于靜態(tài)或動態(tài)的綜合性能測試。這類測試適用于對溫度、濕度性能要求比較嚴格的場合。本檢測在氣流均勻性檢測之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進行。進行這項檢測時,空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運轉,各項狀況已經(jīng)穩(wěn)定。崇左實驗室凈化每個濕度控制區(qū)至少設置一個濕度傳感器,并且給傳感器充分的穩(wěn)定時間。所做測量應適合實際使用的目的,待傳感器穩(wěn)定之后才開始測量,測量時間不少于5分鐘。
無塵室空調(diào)送風體系的結尾設備--高效空氣過濾器或超高效空氣過濾器,在正常狀況下能有用過濾經(jīng)空調(diào)機組處理的新風和回風中的顆粒污染物。正規(guī)實驗室凈化經(jīng)高效、超高效空氣過濾器處理后的潔凈空氣送入室內(nèi),可有用地排替、沖淡室內(nèi)污染物,崇左正規(guī)實驗室凈化以保持室內(nèi)的潔凈度。但末級過濾器如有破損或過濾器與支持結構間的密封呈現(xiàn)裂隙,氣密性失效,那么未經(jīng)高效空氣過濾器過濾的空氣就也許帶著很多污染粒子進入室內(nèi)并隨氣流分散,損害影響規(guī)模較大。因而無塵室投入運用前的末級過濾器檢漏、堵漏或替換作業(yè)十分首要。作業(yè)進程中防備末級過濾器受損,也十分首要。
崇左實驗室凈化工程潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣,以排替、稀釋室內(nèi)產(chǎn)生的顆粒污染物來實現(xiàn)的。為此,測定潔凈室或潔凈設施的送風量、平均風速、送風均勻性、氣流流向及流型等項目十分必要。正規(guī)實驗室凈化單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的潔凈度。因此,其送風斷面風速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù)。較高的、較均勻的斷面風速能更快、更有效地排除室內(nèi)工藝過程產(chǎn)生的污染物,因此它們是主要關注的檢測項目。非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來沖淡與稀釋室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染物以維持其潔凈度。為了獲得可重復的讀數(shù),記錄各測點風速的時間平均值。換氣次數(shù):根據(jù)潔凈室總風量除以法凈室的容積求得。
實驗室凈化工程是將實驗室某一區(qū)域開辟出來,專門用于建造有空氣潔凈等級的、實驗環(huán)境要求相對較高的實驗室或者無菌室。實驗室凈化工程系統(tǒng)與傳統(tǒng)的正規(guī)實驗室凈化工程潔凈室系統(tǒng)其實是大同小異的,只不過實驗室對潔凈室內(nèi)的壓力、微生物控制及溫濕度控制相對較工業(yè)潔凈室要嚴格。常見的實驗室凈化工程裝修材料有夾心彩鋼板、鋼化玻璃、防火板等,正規(guī)實驗室凈化潔凈實驗室必須按照《潔凈室施工與驗收標準》采用可以較好的密封并且不產(chǎn)塵的材料進行隔斷、吊頂裝修,潔凈實驗室通風系統(tǒng)一般采用組合式空調(diào)機組,其送風系統(tǒng)與各業(yè)潔凈室工程不同的地方是,不是所有實驗室都可以設置回風系統(tǒng)的,這需要根據(jù)用戶實驗室的用途以及實驗產(chǎn)品而定。