電子制造業潔凈廠房設計是一項綜合性技術。為了達到合理設計、降低產品不良率、提高生產效率,有必要充分了解電子制造潔凈車間的特點。
電子制造車間的清潔度要求很高。溫度、濕度、風量、壓差、設備排氣按需控制。照明及潔凈室段風速按設計或規范控制。另外,這種潔凈室對靜電有極高的要求。嚴格的。其中,對濕度的要求更高。在過于干燥的車間內極易產生靜電,對CMOS集成電路造成損壞。一般來說,電子車間的溫度控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關的溫濕度規定)。此時,靜電能被有效地消除,使人感到舒適。芯片生產車間、集成電路潔凈室和磁盤制造車間是電子制造業潔凈室的重要組成部分。由于電子產品在制造和生產過程中對室內空氣環境和質量有著極其嚴格的要求,主要控制顆粒物,以浮塵為主要對象,對環境的溫度、濕度、新風量、噪聲等也有嚴格的規定。
百級潔凈室所需換氣次數:
100000級≥15次;
10000級≥20次;
1000≥30次;
100≥500次。
溫度要求:冬季>16℃;夏季<26℃;波動±2℃。溫度45-65%;
壓差:主廠房至相鄰房間≥5Pa平均風速:10100 0.3-0.5m/s;
GMP要求車間周圍的靜電濕度應稍高些;車間內的靜電濕度應稍高些;
噪聲要求:噪聲≤65dB(A);
新風量要求:新風量為總送風量的10%-30%;
照度要求:照度300LX。
百級無塵車間的凈化要求主要依靠凈化氣流不斷稀釋室內空氣,逐步排放室內污染物,達到清潔效果。房間內的氣流是非平行流動,速度不均,混合有回流或渦流。不同級別的凈化車間主要通過單位時間風量的差異來實現。