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十萬級無塵車間的建筑圍護界區和室內裝修，應選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化的作用下變形小的材料。十萬級無塵車間車間內墻壁和頂棚的表面，應平整、光潔、無裂縫、接口嚴密，無顆粒。
十萬級無塵車間內墻壁和頂棚的表面，應平整、光潔、無裂縫、接口嚴密，無顆粒物脫落，并應耐清洗和耐酸堿，墻壁和地面、吊頂結合處做成弧形，踢腳不宜高出墻面，當采用輕質材料融斷時，應采用防碰撞措施。
十萬級無塵車間的地面應整體性好、平整、耐磨、耐撞擊、不易積聚靜電、易除塵清洗，地面墊層應配筋，潮濕地區應做防潮處理。
十萬級無塵車間的建筑圍護界區和室內裝修，應選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化的作用下變形小的材料。
技術夾層為輕質吊頂時，設置檢修通道。建筑風道和回風地溝的內表面裝修標準，應與整個送回風系統相適應并易于除塵。
