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無塵凈化車間是溫濕度主要是根據產品需求的生產工藝來確定，而且在滿足產品工藝要求的同時還要考慮到工作人員的舒適度。隨著無塵凈化車間空氣潔凈等級的提升，各類工藝對于溫濕度的要求也越來越嚴格。
總得來說，產品的加工精度越高，對于溫濕度波動的要求也就越高，要求溫濕度波動的范圍也就越小。例如在一些大規模集成電路的光刻曝光工藝中，直接只有一百微米的材料，如果環境溫度與要求直接相差了一度，就會造成材料零點幾微米的偏差，在這種高精度要求的無塵凈化車間中就是非常嚴重的生產事故。所以，這種工藝甚至是需求溫差保持在正負零點五攝氏度之間的。
另外，一些高精度的產品對于濕度的要求也非常嚴格。在一些電子元件的生產中，空氣的潮濕會直接影響到芯片的質量。而在大部分的硅類產品無塵凈化車間濕度的范圍被嚴格規定在了30-45%之間。
