清潔車間的使用要求比較嚴格，如果車間相對濕度控制不好的話，就有可能使潔凈車間的整體性能下降，還會帶來一系列的影響，到底有什么影響呢？

1.特殊結構：莢膜，鞭毛，菌毛生長。在相對濕度超過60%的環境中，細菌(霉菌、病毒、真菌、螨蟲)和其他生物污染能夠主動繁殖。當相對濕度超過30%時，有些菌群會增加。而且在相對濕度在40%到60%的范圍內，能將細菌和呼吸道感染的影響降到小。

2.相對濕度控制不好，易引起潔凈車間內金屬腐蝕。食源性微生物凈化車間工廠車間除油霧、除味、焊煙、除油煙、廚房食品加工除油煙、食源性微生物凈化車間化驗室、醫院、食源性微生物凈化等。許多化學反應的速度，包括腐蝕過程，會隨著相對濕度的增加而加快。一切暴露在車間周圍空氣中的表面很快就被水所覆蓋，至少有一個單分子層。如果這些表面是由能與水反應的金屬薄層組成，高濕度就會加速反應。有些金屬，如鋁，能與水形成一層保護性氧化物，阻止進一步的氧化反應；另一種金屬，如銅(化學式Cu)，則沒有保護作用。銅制表面在高濕度環境下更易被腐蝕。

3.潔凈車間相對濕度控制不好會出現靜電現象。在相對濕度超過50%時，靜電荷會迅速消散，但在相對濕度小于30%時，靜電荷會在絕緣體或不接地表面長期存在。東莞凈化車間相對濕度在35%-40%之間是一個令人滿意的折線，半導體車間一般采用附加的控制設備來限制靜電荷的累積。

4.吸水能力。控制不佳的相對濕度，對潔凈車間吸水產量有一定影響。

5.水汽凝結。凈化車間設計的地面可采用環氧自流平或耐磨塑膠地板，有防靜電要求的，可選擇防靜電類型。該凈化裝置可采用油霧分離器、油霧凈化器、油霧處理器、油霧收集器、油霧過濾器、袋式除塵器、無塵工作臺、初效/中效/高效過濾器、器、水蒸氣空調機、水溫空調等。高濕度潔凈車間，濃縮水形狀的毛細管力可使顆粒與表面之間的連結力增大，從而提高顆粒對硅質表面的粘附力。這一效果被稱為Kelvin濃縮，即當相對濕度小于50%時，它并不重要，但是當相對濕度在70%左右時，它會成為粘附顆粒的主要動力。

6.潔凈車間檢測的濕度應該在40%到60%的范圍內，同樣是人們感到舒適的適中范圍。假如東莞潔凈車間濕度過高會使人感到悶悶不樂，而濕度低于30%則會讓人感到干燥、皮膚干裂、呼吸道不適和情緒不暢，從而影響工作。

另外，在相對濕度較高的環境中，烘烤過程中由于水分吸收，光刻膠膨脹加劇。食品加工車間凈化車間的材料是凈化車間內墻、頂板一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制作，其特點是美觀、剛性強、保溫性好、施工容易。弧形角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制作地面，可采用環氧自流式坪地或耐磨塑料地板，如有防靜電要求，可選用防靜電型。光刻膠粘性同樣會受到高相對濕度的不利影響；相對濕度降低(約30%)使得光刻膠粘性更好，甚至無需聚合改性劑，如六甲基二硅氮烷。