潔凈工程控制靜電產(chǎn)生,可以通過(guò)控制工藝過(guò)程和工藝過(guò)程中相互接觸的材料,以盡量減小靜電產(chǎn)生量。控制靜電積累主要是設(shè)法加速靜電的釋放和造成靜電得以被中和的條件。

　　潔凈工程防靜電措施應(yīng)該包括以下三條主要原則：

　　(1)連接工作間內(nèi)所有導(dǎo)體(包括人員)

　　(2)使工作間內(nèi)的非導(dǎo)體保持靜電平衡;

　　(3)將靜電安全工作區(qū)之間所有對(duì)靜電敏感的物件裝人靜電防護(hù)罩內(nèi)：

　　以上三條很重要,必須按次序操作。其中,接地是最重要的一項(xiàng)。如果孤立的導(dǎo)體帶了電,將它接地就可使靜電釋放。通過(guò)這種方法,設(shè)備、材料和許多適合潔凈工程的諸如印制電路基板、人造織物、塑料運(yùn)送盤、聚四氟乙烯(tefon)等一些非導(dǎo)電材料,不能用接地的方法將靜電消除。那么就需要其他方法以中和電荷。對(duì)存在于絕緣體和與大地隔離的導(dǎo)體上的靜電,實(shí)際上，潔凈工程中還經(jīng)常用空氣離子發(fā)生器來(lái)對(duì)付它。空氣離子發(fā)生器可以產(chǎn)生正、負(fù)空氣離子團(tuán),去中和潔凈工程內(nèi)的靜電。

　　在潔凈工程內(nèi)使用的空氣離子發(fā)生器,必須符合與其他設(shè)備相容的一般方針,而且空氣離子發(fā)生器的運(yùn)用應(yīng)不產(chǎn)生潔凈室污染。空氣離子是空氣中失去或得到電子的氣體分子。在潔凈室中最一般的獲得空氣離子的方法是利用電暈電離器。在空氣離子發(fā)生器里,將很高的電壓加到發(fā)射極尖端上,形成冠狀電場(chǎng),從而會(huì)很容易將空氣分子的電子移走,也就是使空氣發(fā)生電離。

　　當(dāng)電離的空氣與帶電的絕緣體表面接觸時(shí),帶電表面就會(huì)吸引極性相反的空氣離子,從而消除靜電。因?yàn)闈崈艄こ讨性斐伸o電帶電的電荷,既有正電荷,也有負(fù)電荷。所以,中和這些靜電,就既需要正空氣離子,也需要負(fù)空氣離子。

　　潔凈工程的潔凈過(guò)程經(jīng)常涉及到高壓氣體吹噴,以達(dá)到移除微粒和風(fēng)干的目的。如果用空氣離子發(fā)生器電離這一高壓氣體,使之中和帶電表面上的靜電荷,從而可以達(dá)到兩個(gè)目的:其一,使消除因帶電表面吸附微粒造成的污染變得容易;其二是對(duì)于沒(méi)有帶電的產(chǎn)品表面,減小了它在潔凈過(guò)程后再吸附微粒造成污染的可能。