無塵室內該如何防止微粒子污染呢？應遵守下列四項基本原則：

1.不攜入在無塵室內不攜入微粒子的方法有：

1）作業員進入無塵室前，機臺、零件攜入前應進行清潔處理；

2）進入無塵室者在更衣室要穿著不發塵、不產生靜電的具特殊導電性纖維材質的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。   

3）通過風淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進入無塵室。

4）機器及材料帶進無塵室前，應盡可能在密封狀態下帶進無塵室前室保養后用超純水擦拭，經風淋室吹淋后才進入無塵室。

5）無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。 　　

2.不發生 在控制污染源--人在無塵室內的微粒子發塵量的同時，也應控制第二大污染源—制造機臺的發塵量。因物品在移動時，所產生的摩擦及接觸剝離會造成發塵，而物品在移動時也會有微粒子的發生。故為了控制發塵量達到小限度應采取以下對策：

1）減少接觸剝離發塵的動作形態；

2）采用磨耗發塵小的材質；

3）采用發塵小的潤滑油；

4）機臺應用空壓浮上的非接觸化工作原理。 　　

3.不儲備 若能徹底實施“不攜入”技術，無塵室內的潔凈度就可以維持。但現實中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動，在廣大的無塵室內要有完全潔凈度是不可能的。因此“不儲備”技術快速地在過濾器中應用以除去已發生的微粒子變得非常重要。通常已發生的微粒子會依據重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發性的振動及不穩定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起，增加了重大微粒子污染的危險性。 無塵室內的浮游微粒子濃度，使用高性能的過濾器即可容易達到零水平，實際的生產現場由于作業者、機器、周邊機械的發塵及基板運送時所接觸的零件材料的發塵等，在制造品周邊揚起了少許的微粒子，因而造成了元件清潔面的粒子污染。　　

 在高等級的無塵室中從天花板到地面，完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動。這是在約10秒內將室內空氣和完全過濾空氣完全交換所計算出來的數值。同時，空氣的流向也必須要有控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻，因為在流通路徑中有障礙物的話，容易產生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區域，使得附近已發生的微粒子無法快速排除而長時間漂流在無塵室內，而一部分會附著在周邊機器設備的表面而引起污染。 控制氣流可防止微粒子累積，但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。 

無塵室內的浮游微粒子濃度，使用高性能的過濾器即可容易達到零水平，實際的生產現場由于作業者、機器、周邊機械的發塵及基板運送時所接觸的零件材料的發塵等，在制造品周邊揚起了少許的微粒子，因而造成了元件清潔面的粒子污染。

4.潔要求　

（1）、清潔潔凈室內的墻時應使用潔凈室無塵布；

（2）、用90％去離子水和10％的異丙醇配置清潔劑； 　

（3）、使用已獲批準的潔凈室專用去污劑； 　　

（4）、每天都要檢查車間和整備間的垃圾箱，并及時清走。 　

（5）、每塊地板都要吸塵。每次交接班時，都應在地圖上標明工作完成情況，例如在哪結束從哪開始。

（6）、清潔潔凈室的地面應使用專用拖把。 　　

（7）、在潔凈室里吸塵應使用帶有高效過濾器的專用真空吸塵器。 　　

（8）、所有的門都需要檢查并擦干 　

（9）、吸完地以后再擦地。一周擦一次墻面。

（10）、架空地板下也要吸塵及擦拭。 　　

(11)、三個月擦一次架空地板底下的柱子和支撐柱。 　

（12）、工作時一定要記住，永遠是由上往下擦，從離門最遠的地方向門的方向擦。

  無塵車間也叫潔凈廠房、潔凈室(Clean Room）、無塵室，是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。