A、廣東無塵凈化生產車間室內測試人員必須穿潔凈服,不得超過2人,應位于測試點下風側并遠離測試點,并應保持靜止。進行換點操作時動作要輕,應減少人員對室內潔凈度的干擾。B、設備要在校準期內使用。C、優質無塵凈化生產車間檢測前和檢測后設備“清零”D、在單向流區域,所選擇的采樣探頭應接近等動力采樣,進入采樣探頭的風速與被采空氣的風速偏差不應超過20%。若無法做到這一點,將采樣口正對氣流的主方向。非單向流的采樣點,采樣口應豎直向上。E、采樣口至粒子計數器傳感器的連接管應盡量短。采樣點一般離地面0.8-1.2m左右,要均勻科學布點,而且要避開回風口。對任何小潔凈室或局部空氣凈化區域,采樣點的數目都不得少于2個,總采樣數可根據面積開2次根求得。
咱們有必要在規劃和選用資料時就選用不易發作靜電,或發作靜電能敏捷泄漏的資料。優質無塵凈化生產車間在以往的規劃中咱們為了使靜電電荷有敏捷逃逸的通路,通常只重視對地板的效果,即選用防靜電地板來消除靜電。并且只把體系電阻值約束在105—108歐姆之間來作為衡量防靜電的規范,如今看來是遠遠不夠的。如今歐美、日本等國家在規劃潔凈室時現已不局限于防靜電地板了,對廣東無塵凈化生產車間潔凈室間隔、墻面及潔凈的構造體系等都思考在內。如今在規劃時咱們也會充沛思考到防靜電的請求,如選用噴涂靜電涂料、防靜電蠟等來作為輔佐辦法或彌補辦法來戰勝靜電。使潔凈室不發作或少發作靜電。
廣東無塵凈化生產車間無塵凈化車間的溫濕度主要是依據您的加工工藝請求來肯定,在滿足加工工藝的條件下,必選應該思索人的溫馨感。隨著空氣干凈度請求的進步,工藝對溫濕度的請求也越來越高,必需到達一定的溫濕度等級。例如在大范圍集成電路消費的光刻曝光工藝中,作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱收縮系數的差請求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就惹起了0.24um線性收縮,所以必需有±0.1度的恒溫,同時請求濕度值普通較低,由于人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,優質無塵凈化生產車間這種車間不宜超越25度。 濕渡過高產生的問題更多。相對濕度超越55%時,冷卻水管壁上會結露,假如發作在精細安裝或電路中,就會惹起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。
1.無隔板過濾器和新式空氣分配設備可構成即節能又靈敏的無塵凈化生產車間設計無塵車間體系。2.在不影響噪聲限度的前提下,進步風機壓頭有利于延伸過濾器的運用壽命,此外風機應可以變速工作。3.對各種優質無塵凈化生產車間凈化單元結構(安置和尺度)應加以改進,使之向有利于減小體積,進步分配均勻性而又不添加阻力的方向開展。4.改進排風柜的結構,既便于隨時調理風量,又要便利操作。5.技術設備的規劃和排熱辦法應親近結合,排熱以開展水冷為主。
1.外廊盤繞式:優質無塵凈化生產車間外廊能夠有窗或無窗,以兼作觀賞和放置一些設備用,而通常選用10萬級和外窗有必要是雙層密封窗。2.廣東無塵凈化生產車間內廊盤繞式:無塵室設在外圍,而走廊設在內部,這種走廊的潔凈度等級通常需較高,乃至和無塵室同樣的等級,此外無塵室設在外圍時,需注意并無外窗設置。3.兩頭式:無塵室設在一邊,另一邊設準無塵和輔佐用居室。4.基地式:為了節省用地、縮短管線,能夠將無塵區設在基地,上下左右被各種輔佐房和蔭蔽管道的空間包圍起來,削減與外氣的熱交換。