武鳴gmp車間凈化無塵凈化車間的溫濕度主要是依據您的加工工藝請求來肯定,在滿足加工工藝的條件下,必選應該思索人的溫馨感。隨著空氣干凈度請求的進步,工藝對溫濕度的請求也越來越高,必需到達一定的溫濕度等級。例如在大范圍集成電路消費的光刻曝光工藝中,作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱收縮系數的差請求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就惹起了0.24um線性收縮,所以必需有±0.1度的恒溫,同時請求濕度值普通較低,由于人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,正規gmp車間凈化這種車間不宜超越25度。 濕渡過高產生的問題更多。相對濕度超越55%時,冷卻水管壁上會結露,假如發作在精細安裝或電路中,就會惹起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。
咱們有必要在規劃和選用資料時就選用不易發作靜電,或發作靜電能敏捷泄漏的資料。正規gmp車間凈化在以往的規劃中咱們為了使靜電電荷有敏捷逃逸的通路,通常只重視對地板的效果,即選用防靜電地板來消除靜電。并且只把體系電阻值約束在105—108歐姆之間來作為衡量防靜電的規范,如今看來是遠遠不夠的。如今歐美、日本等國家在規劃潔凈室時現已不局限于防靜電地板了,對武鳴gmp車間凈化潔凈室間隔、墻面及潔凈的構造體系等都思考在內。如今在規劃時咱們也會充沛思考到防靜電的請求,如選用噴涂靜電涂料、防靜電蠟等來作為輔佐辦法或彌補辦法來戰勝靜電。使潔凈室不發作或少發作靜電。
武鳴gmp車間凈化無塵車間的圍護結構和室內裝修材料宜選用氣密性良好,同時在溫度、濕度等變化時,本身變形小的材料;墻壁和頂棚表面應光潔平整、不起灰、不落塵、耐腐蝕、耐沖擊、易清洗。為了使無塵車間的建筑表面盡量少積灰、易清掃,應在建筑構造上避免或減少凹凸面,墻面與地面、墻面與頂棚、墻面與墻面的相接處也不宜做成一般的直角,宜做成半徑大于或等于50mm的圓角。正規gmp車間凈化壁面涂層的色彩要和諧、雅致、素淡,以便于顯現壁面上的污染物。同樣,地面也應做到平整、無縫隙、耐磨、耐腐蝕、耐沖擊、不積聚靜電、易除塵清洗。
正規gmp車間凈化無塵車間裝修標準按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂gmp車間凈化工程無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業內俗稱的1K級別。