隨著生活水平的提高，人們對產品質量要求也越來越嚴格。因此，凈化工程對車間設計的各個方面，也提高了要求，尤其是在濕度方面，更是要求嚴苛。行業人士可能都明白這個道理：高濕度實際上減小了無塵電子車間表面的靜電荷積累，這是大家想要的結果；較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。

因此，當相對濕度超過百分之50時，靜電荷開始迅速消散，但是當相對濕度小于百分之30時，它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續存在很長一段時間。相對濕度在百分之35到百分之40之間可可謂是一個令人滿意的折中，半導體無塵車間、潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。

很多化學反應的速度，包括腐蝕過程，將隨著相對濕度的增高而加快。所有暴露在凈化工程、潔凈室周圍空氣中的表面都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當這些表面是由可以與水反應的薄金屬涂層組成時，高濕度可以使反應加速。

值得慶幸的是，一些金屬，比如鋁，可以與水形成一層保護型的氧化物，并阻止進一步的氧化反應。但還有另一種情況是不具有保護能力的，例如氧化銅，在高濕度的環境中，銅制表面更容易受到腐蝕。總之，無塵電子車間濕度的控制主要在于其生產工藝的要求，所以廠家對無塵車間的濕度做出嚴格要求是很有必要的。

車間凈化工程主要就是將一定空間范圍內的空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內的溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，以確保產品可以在穩定良好的環境下生產和制造。